所属领域：

智能制造

成果简介：

AI赋能的高精度三维成像系统采用高精度全场动态相位成像技术，利用干涉原理调制样品的相位信息，通过AI赋能的解调算法解耦出待观察样品的三维结构和折射率信息，实现三维检测精度可达到±20nm；同时，系统应用深度相移技术，大幅度提高卷积神经网络的泛化能力，使AI赋能的成像系统可用于任意样品场景；其次，系统利用AI模型模拟多波长干涉过程，实现单波长照明下的多波长干涉测量，解决了相位成像中的相位解包问题。此外，系统可实现不再需要面阵相机进行图像信息收集，结合自研的无训练网络实现10%图像数据量采集的高精度超分辨图像重构。最后，系统引入卷积神经网络的强大特征分析性能，可将成像过程中的轴向分辨率提高100倍。

技术成果在材料科学、生物医学、微电子制造等领域具有革命性作用，能提供样品的三维结构和折射率信息，这对于研究材料内部的微观结构变化、生物细胞的动态行为以及半导体器件的缺陷检测至关重要。

合作方式：

技术转让、专利许可、委托开发、合作开发、技术咨询、技术服务、技术入股

联系方式：

成果转化部，020-88322793，tto@pazhoulab.cn